Dè a th’ ann an glanadh laser
Le bhith a’ nochdadh lùth laser dùmhail do uachdar a’ phìos obrach air a thruailleadh, faodaidh glanadh laser an còmhdach salachair a thoirt air falbh sa bhad gun mhilleadh a dhèanamh air a’ phròiseas fo-strat. ’S e seo an roghainn air leth freagarrach airson ginealach ùr de theicneòlas glanaidh gnìomhachais.
Tha teicneòlas glanaidh leusair cuideachd air a bhith na theicneòlas glanaidh riatanach ann an gnìomhachas, togail shoithichean, aerospace, agus raointean saothrachaidh àrd-ìre eile, a’ gabhail a-steach toirt air falbh salachar rubair air uachdar molltairean taidhrichean, toirt air falbh truailleadh ola silicon air uachdar film òir, agus glanadh àrd-chruinneas gnìomhachas meanbh-eileagtronaigeach.
Cleachdaidhean glanaidh laser àbhaisteach
◾ Toirt air falbh peant
◾ Toirt air falbh Ola
◾ Toirt air falbh ocsaid
Airson teicneòlas leusair leithid gearradh leusair, gràbhaladh leusair, glanadh leusair, agus tàthadh leusair, is dòcha gu bheil thu eòlach orra sin ach an stòr leusair co-cheangailte. Tha foirm ann airson do fiosrachaidh a tha mu cheithir stòran leusair agus stuthan agus tagraidhean freagarrach co-fhreagarrach.
Ceithir stòran laser mu ghlanadh laser
Air sgàth nan eadar-dhealachaidhean ann am paramadairean cudromach leithid tonn-fhaid agus cumhachd diofar stòran laser, ìre gabhail a-steach diofar stuthan agus stains, mar sin feumaidh tu an stòr laser ceart a thaghadh airson an inneal glanaidh laser agad a rèir nan riatanasan sònraichte airson truailleadh a thoirt air falbh.
▶ Glanadh Leusair Pulse MOPA
(ag obair air a h-uile seòrsa stuth)
’S e leusair MOPA an seòrsa glanadh leusair as fharsainge a thathas a’ cleachdadh. Tha MO a’ seasamh airson maighstir-oscillator. Leis gum faodar siostam leusair snàithleach MOPA a mheudachadh gu teann a rèir stòr comharra an t-sìl a tha ceangailte ris an t-siostam, cha tèid feartan buntainneach an leusair leithid tonn-chruth an ionaid, tonn-chruth cuisle agus leud cuisle atharrachadh. Mar sin, tha meud atharrachaidh a’ pharaimeadar nas àirde agus tha an raon nas fharsainge. Airson diofar shuidheachaidhean tagraidh de dhiofar stuthan, tha an comas atharrachadh nas làidire agus tha eadar-ama uinneag a’ phròiseis nas motha, a dh’ fhaodas coinneachadh ri glanadh uachdar diofar stuthan.
▶ Glanadh Laser Snàithleach Co-dhèanta
(an roghainn as fheàrr airson peant a thoirt air falbh)
Bidh glanadh co-dhèanta leusair a’ cleachdadh leusair leantainneach leth-chonnsachaidh gus toradh giùlain teas a ghineadh, gus am bi an t-substrate a tha ri ghlanadh a’ gabhail a-steach lùth gus gasachadh agus neul plasma a thoirt gu buil, agus cuideam leudachaidh teirmeach a chruthachadh eadar an stuth meatailt agus an còmhdach truaillte, a’ lughdachadh feachd ceangail eadar-fhilleadh. Nuair a bhios an stòr leusair a’ gineadh beam leusair cuisle àrd-lùtha, bidh an tonn clisgeadh crith a’ rùsgadh a’ cheangail leis an fheachd greamachaidh lag, gus glanadh leusair luath a choileanadh.
Bidh glanadh co-dhèanta leusair a’ cothlamadh gnìomhan leusair leantainneach agus leusair cuisleach aig an aon àm. Astar àrd, èifeachdas àrd, agus càileachd glanaidh nas cunbhalaiche, airson diofar stuthan, agus faodar diofar thonnan-fada de ghlanadh leusair a chleachdadh aig an aon àm gus adhbhar a choileanadh airson stains a thoirt air falbh.
Mar eisimpleir, ann an glanadh leusair de stuthan còtaichte tiugh, tha toradh lùtha ioma-bhualaidh aon leusair mòr agus tha a’ chosgais àrd. Faodaidh glanadh co-dhèanta leusair cuisleach agus leusair leth-chonnsachaidh càileachd a’ ghlanaidh a leasachadh gu luath agus gu h-èifeachdach, agus chan eil e ag adhbhrachadh milleadh air an t-substrate. Ann an glanadh leusair de stuthan àrd-mheòrachail leithid aloi alùmanum, tha cuid de dhuilgheadasan aig aon leusair leithid meòrachadh àrd. Le bhith a’ cleachdadh glanadh co-dhèanta leusair cuisleach agus leusair leth-chonnsachaidh, fo ghnìomh tar-chuir teirmeach leusair leth-chonnsachaidh, bidh an ìre gabhail a-steach lùth den t-sreath ocsaid air uachdar a’ mheatailt ag àrdachadh, gus am bi beam an leusair cuisleach comasach air an t-sreath ocsaid a rùsgadh nas luaithe, a’ leasachadh èifeachdas toirt air falbh nas èifeachdaiche, gu sònraichte tha èifeachdas toirt air falbh peant air a mheudachadh barrachd air 2 uiread.
▶ Glanadh Leusair CO2
(an roghainn as fheàrr airson stuth neo-mheatailteach a ghlanadh)
'S e leusair gas a th' ann an leusair dà-ogsaid charboin le gas CO2 mar an stuth obrach, a tha air a lìonadh le gas CO2 agus gasaichean co-phàirteach eile (helium agus naitridean a bharrachd air beagan haidridean no xenon). Stèidhichte air an tonn-fhaid sònraichte aige, 's e leusair CO2 an roghainn as fheàrr airson uachdar stuthan neo-mheatailteach a ghlanadh leithid glaodh, còmhdach agus inc a thoirt air falbh. Mar eisimpleir, chan eil cleachdadh leusair CO2 gus an còmhdach peant co-dhèanta a thoirt air falbh air uachdar aloi alùmanum a' dèanamh cron air uachdar film anodic ogsaid, agus chan eil e a' lughdachadh a thiugh.
▶ Glanadh leusair UV
(an roghainn as fheàrr airson inneal dealanach iom-fhillte)
Am measg nan leusairean ultraviolet a thathas a’ cleachdadh ann am micromachining leusair tha leusairean excimer agus leusairean staid-chruaidh uile. Tha tonn-fhaid leusair ultraviolet goirid, faodaidh gach foton singilte lùth àrd a lìbhrigeadh, agus faodaidh e na ceanglaichean ceimigeach eadar stuthan a bhriseadh gu dìreach. San dòigh seo, thèid stuthan còmhdaichte a thoirt far an uachdar ann an cruth gas no mìrean, agus bidh am pròiseas glanaidh gu lèir a’ toirt a-mach lùth teas ìosal nach toir buaidh ach air sòn bheag air a’ phìos obrach. Mar thoradh air an sin, tha buannachdan sònraichte aig glanadh leusair UV ann am micro-saothrachadh, leithid glanadh Si, GaN agus stuthan leth-chonnsachaidh eile, grian-chlach, sapphire agus criostalan optigeach eile, agus polyimide (PI), polycarbonate (PC) agus stuthan polymer eile, a dh’ fhaodas càileachd saothrachaidh a leasachadh gu h-èifeachdach.
Thathas den bheachd gur e leusair UV an sgeama glanaidh leusair as fheàrr ann an raon electronics mionaideach, chan eil an teicneòlas giullachd "fuar" as sònraichte aige ag atharrachadh feartan fiosaigeach an nì aig an aon àm, uachdar meanbh-innealachadh agus giullachd, agus faodar a chleachdadh gu farsaing ann an conaltradh, optaig, armachd, rannsachadh eucorach, meidigeach agus gnìomhachasan agus raointean eile. Mar eisimpleir, tha linn 5G air iarrtas margaidh a chruthachadh airson giullachd FPC. Tha cleachdadh inneal leusair UV ga dhèanamh comasach innealachadh fuar mionaideach a dhèanamh air FPC agus stuthan eile.
Àm puist: 10 Dàmhair 2022