Kí ni ìwẹ̀nùmọ́ lésà
Nípa fífi agbára lésà tí a kó jọ sí ojú ibi iṣẹ́ tí ó ti bàjẹ́, ìwẹ̀nùmọ́ lésà lè mú ìdọ̀tí kúrò lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ láì ba ìlànà ìṣàlẹ̀ jẹ́. Ó jẹ́ àṣàyàn tí ó dára jùlọ fún ìran tuntun ti ìmọ̀-ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ ilé-iṣẹ́.
Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ léésà ti di ìmọ̀ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ pàtàkì nínú iṣẹ́ náà, kíkọ́ ọkọ̀ ojú omi, ọkọ̀ òfúrufú, àti àwọn pápá ìṣelọ́pọ́ gíga mìíràn, títí bí yíyọ eruku rọ́bà kúrò lórí ojú àwọn mànàmáná táyà, yíyọ àwọn èérí epo sílíkónì kúrò lórí ojú fíìmù wúrà, àti ìwẹ̀nùmọ́ tó péye ti ilé iṣẹ́ microelectronics.
Awọn ohun elo mimọ lesa deede
◾ Yíyọ àwọ̀ kúrò
◾ Yíyọ epo kúrò
◾ Yíyọ àwọn ohun èlò ìdènà oksidi
Fún ìmọ̀ ẹ̀rọ lésà bíi gígé lésà, fífẹ̀ lésà, ìwẹ̀nùmọ́ lésà, àti ìfọwọ́sowọ́pọ̀ lésà, o lè mọ̀ nípa àwọn wọ̀nyí ṣùgbọ́n orísun lésà tó jọra. Fọ́ọ̀mù kan wà fún ìtọ́kasí rẹ tí ó tó nǹkan bí orísun lésà mẹ́rin àti àwọn ohun èlò àti ìlò tó yẹ.
Orisun laser mẹrin nipa mimọ laser
Nítorí ìyàtọ̀ nínú àwọn pàrámítà pàtàkì bí ìgbì omi àti agbára orísun lésà tó yàtọ̀ síra, ìwọ̀n ìfàmọ́ra àwọn ohun èlò àti àbàwọ́n tó yàtọ̀ síra, nítorí náà o nílò láti yan orísun lésà tó tọ́ fún ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà rẹ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí a nílò láti yọ àbàwọ́n kúrò.
▶ Ìmọ́tótó Lésà MOPA
(ṣiṣẹ lori gbogbo iru ohun elo)
Lésà MOPA ni irú ìwẹ̀nùmọ́ lésà tí a ń lò jùlọ. MO dúró fún oscillator ọ̀gá. Níwọ́n ìgbà tí a lè mú kí ètò lésà MOPA okùn pọ̀ sí i ní ìbámu pẹ̀lú orísun àmì irúgbìn tí a so mọ́ ètò náà, àwọn ànímọ́ tó báramu ti lésà náà bíi ìgbì àárín, ìgbì pulse àti ìwọ̀n pulse kò ní yípadà. Nítorí náà, ìwọ̀n ìṣàtúnṣe paramita ga jù àti pé ìwọ̀n náà gbòòrò sí i. Fún àwọn ipò ìlò onírúurú ti àwọn ohun èlò, ìyípadà náà lágbára sí i àti pé àkókò window ilana náà tóbi sí i, èyí tí ó lè bá ìwẹ̀nùmọ́ ojú ilẹ̀ àwọn ohun èlò onírúurú mu.
▶ Ìmọ́tótó Okùn Lésà Oníṣọ̀kan
(aṣayan ti o dara julọ fun yiyọ awọ kuro)
Ìmọ́tótó àdàpọ̀ laser ń lo lésà onípele semiconductor láti mú ìjáde ìgbóná jáde, kí ohun tí a fẹ́ fọ̀ lè gba agbára láti mú kí gasification jáde, àti ìkùukùu plasma, kí ó sì ṣẹ̀dá ìfúnpọ̀ ooru láàárín ohun èlò irin àti ìpele tí ó ti bàjẹ́, èyí tí yóò dín agbára ìsopọ̀ àárín àwọn ohun èlò irin kù. Nígbà tí orísun lésà bá mú kí iná lésà oní-agbára gíga jáde, ìgbì ìgbóná yóò yọ ìsopọ̀ náà kúrò pẹ̀lú agbára ìsopọ̀ tí kò lágbára, kí ó baà lè ṣe ìfọmọ́ lésà kíákíá.
Ìmọ́tótó àdàpọ̀ laser máa ń so iṣẹ́ lésà àti pulsed lésà pọ̀ ní àkókò kan náà. Iyára gíga, iṣẹ́ tó ga, àti dídára ìmọ́tótó tó dọ́gba, fún àwọn ohun èlò tó yàtọ̀ síra, tún lè lo oríṣiríṣi ìgbì omi ìmọ́tótó lésà ní àkókò kan náà láti ṣe àṣeyọrí ète yíyọ àbàwọ́n kúrò.
Fún àpẹẹrẹ, nínú ìwẹ̀nùmọ́ lésà ti àwọn ohun èlò ìbòrí tí ó nípọn, agbára ìṣẹ̀dá lésà onípele púpọ̀ pọ̀ gan-an, owó rẹ̀ sì ga. Ìwẹ̀nùmọ́ àpapọ̀ lésà onípele pulsed àti lésà onípele semiconductor lè mú kí ìwẹ̀nùmọ́ dára síi kíákíá, kò sì fa ìbàjẹ́ sí substrate náà. Nínú ìwẹ̀nùmọ́ lésà ti àwọn ohun èlò tí ó ní ìmọ́lẹ̀ bíi alloy aluminiomu, lésà kan ṣoṣo ní àwọn ìṣòro bíi ìfọ́júsí gíga. Nípa lílo lésà onípele pulse àti lésà onípele semiconductor, lábẹ́ ìṣiṣẹ́ ti ìfàsẹ́yìn thermal laser semiconductor, mú kí ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn agbára ti layer oxide lórí ojú irin pọ̀ sí i, kí pulse lesa lesa le fa oxide Layer náà kíákíá, kí ó sì mú kí ìyọkúrò náà sunwọ̀n sí i, pàápàá jùlọ, ìṣiṣẹ́ yíyọ àwọ̀ pọ̀ sí i ní ìlọ́po méjì ju.
▶ Ìmọ́tótó Lésà CO2
(aṣayan ti o dara julọ fun mimọ ohun elo ti kii ṣe irin)
Lésà carbon dioxide jẹ́ lésà gaasi pẹ̀lú gáàsì CO2 gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìṣiṣẹ́, èyí tí a fi gáàsì CO2 àti àwọn gáàsì ìrànlọ́wọ́ mìíràn kún (hélíọ́mù àti nítrójìn àti ìwọ̀n díẹ̀ ti hydrogen tàbí xenon). Nítorí ìwọ̀n gígùn rẹ̀ tí ó yàtọ̀, lésà CO2 ni àṣàyàn tí ó dára jùlọ fún mímú ojú àwọn ohun èlò tí kì í ṣe irin mọ́ bí yíyọ gáàsì, ìbòrí àti inki kúrò. Fún àpẹẹrẹ, lílo lésà CO2 láti yọ ìpele àdàpọ̀ àwọ̀ kúrò lórí ojú àlùmọ́nì alloy kò ba ojú fíìmù anodic oxide jẹ́, bẹ́ẹ̀ ni kò dín sísanra rẹ̀ kù.
▶ Ìmọ́tótó Lésà UV
(aṣayan ti o dara julọ fun ẹrọ itanna ti o ni ilọsiwaju)
Àwọn lésà ultraviolet tí a lò nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ laser micromachining ní pàtàkì nínú àwọn lésà excimer àti gbogbo lésà onípele solid-state. Ìwọ̀n gígùn lésà ultraviolet kúrú, fọ́tòn kọ̀ọ̀kan lè fúnni ní agbára gíga, ó lè fọ́ àwọn ìdè kẹ́míkà láàrín àwọn ohun èlò náà ní tààrà. Ní ọ̀nà yìí, a máa ń bọ́ àwọn ohun èlò tí a fi bo ojú ilẹ̀ ní ìrísí gáàsì tàbí àwọn èròjà, gbogbo ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ sì máa ń mú agbára ooru díẹ̀ jáde tí yóò kan agbègbè kékeré kan lórí iṣẹ́ náà. Nítorí náà, ìwẹ̀nùmọ́ lésà UV ní àwọn àǹfààní àrà ọ̀tọ̀ nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ micro, bíi mímọ́ Si, GaN àti àwọn ohun èlò semiconductor mìíràn, quartz, sapphire àti àwọn kirisita optical mìíràn, And polyimide (PI), polycarbonate (PC) àti àwọn ohun èlò polima mìíràn, lè mú kí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà dára síi.
A kà á sí ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ lésà tó dára jùlọ ní ẹ̀ka ẹ̀rọ itanna tó péye, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ tó dára jùlọ tó ní àbùdá tó dára jùlọ kò yí àwọn ohun ìní ara ohun náà padà ní àkókò kan náà, ojú ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ kékeré àti ìṣiṣẹ́, a lè lò ó fún ìbánisọ̀rọ̀, ìrísí ojú, ogun, ìwádìí ọ̀daràn, ìṣègùn àti àwọn ilé iṣẹ́ àti pápá mìíràn. Fún àpẹẹrẹ, àkókò 5G ti ṣẹ̀dá ìbéèrè ọjà fún ìṣiṣẹ́ FPC. Lílo ẹ̀rọ lésà UV jẹ́ kí ó ṣeé ṣe láti ṣe ìṣiṣẹ́ tútù ti FPC àti àwọn ohun èlò mìíràn.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-10-2022